青海蔡司电子显微镜工作原理

Nano-twin 物镜 Nano-twin 物镜是一种在低加速电压条件下 工作的电镜( EM ) 物镜。通过优化几何结 构和静电场及磁场分布， 获得出色的信号 探测效率， 从而可以在低电压下达到亚纳 米级分辨率。具体来说， 与标准的 Gemini 物镜相比，它在低电压下的像差降低了 3 倍。这使得样品上的磁场降低了 3 倍， 约 为 1mT ，并能够进行 1kV 以下亚纳米成像， 而*将样品浸没在电磁场中。

分辨率模式 在高分辨率电子枪模式下， 电子束色差降低， 从而实现更小的束斑。 在样品台减速技术模式下， 为样品施加减 速电压。该减速电压可进一步提高 1 kV 以 下的图像分辨率并增强背散射探测器的检 测效率。

背散射电子产生于样品表面之下，可提供 样品材质成分的衬度信息。背散射电子通 常以与入射电子束成 15 度角的圆锥状出 射， 被 Gemini 镜筒电子束推进器吸入后射 到镜筒内。由于二次电子( SE ) 与背散射 电子( BSE ) 具有不同的能量，它们会在电 子束推进器内产生不同轨迹。

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在工业质量、失效分析或研究环境中，由于扫描电子显微镜 可提供高分辨率成像和高空间分辨率元素化学信息，所以它 是金相学和失效分析应用的理想之选。

专为日常检测和分析应用而设计，蔡司 EVO 拥有先进的操作 设计理念，无论是经验丰富的显微技术人员还是不具备扫描 显微镜专业知识的工程师，均可轻松上手。它能够提供出色 的高质量数据，特别适合于后续检测中无法涂覆导电层的非 导电零部件。
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