透射蔡司电子显微镜应用

Gemini 3 型镜筒介绍 Gemini 3 型镜筒是专为表面灵敏成像领域 的苛刻任务而设计，它确保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作条件下都能达到较高分 辨率。它由两个协同工作的组件组成，即 Nano-twin 物镜和智能自动光路调节—— 它 们组成一个全新的电子光学引擎。 BSE 的优 势也可以为您提供良好的图像衬度，让您可 以从样品中提取出尽可能多的信息。

Nano-twin 物镜 Nano-twin 物镜是一种在低加速电压条件下 工作的电镜( EM ) 物镜。通过优化几何结 构和静电场及磁场分布， 获得出色的信号 探测效率， 从而可以在低电压下达到亚纳 米级分辨率。具体来说， 与标准的 Gemini 物镜相比，它在低电压下的像差降低了 3 倍。这使得样品上的磁场降低了 3 倍， 约 为 1mT ，并能够进行 1kV 以下亚纳米成像， 而*将样品浸没在电磁场中。

• 通过 Nano-twin 物镜实现**低电压下的优 化高分辨率 • 通过新的大视野概览模式实现样品导航和 高分辨率成像之间的无缝过渡 • 通过新的自动聚焦功能和新的快速镜筒对 中算法实现高速优化图像质量。

智能自动光路调节优化了通过镜筒的电子轨 迹，从而确保了在每个加速电压下尽可能高 的分辨率。它还引入了新的自动功能，在整 个放大倍数范围内(从 1 倍到 2,000,000 倍) 实现无缝对准自由切换，并将观察视野增 加了 10 倍，从而可以在单幅图像中完整成 像 13 厘米的物体。GeminiSEM 560 保持了 市场上尺寸达 32k × 24k 的**大图像存储像素， 在大视野无畸变拼接成像方面*具优势。

背散射电子产生于样品表面之下，可提供 样品材质成分的衬度信息。背散射电子通 常以与入射电子束成 15 度角的圆锥状出 射， 被 Gemini 镜筒电子束推进器吸入后射 到镜筒内。由于二次电子( SE ) 与背散射 电子( BSE ) 具有不同的能量，它们会在电 子束推进器内产生不同轨迹。

维修、维护及优化 确保显微镜的正常工作时间。蔡司的维保服务协议可让您的运行成本更经济，避免因停机而 造成的损失，并通过提升系统性能达到理想的工作状态。维保服务协议可为您提供一系列的 可选服务种类以及不同级别的服务。在选择维保服务方案上我们会给予全力支持，以求满足 您的系统需求与使用要求，同时遵守您单位的规定。

强化显微镜系统 蔡司显微镜系统可采用多种方式升级：开放式的升级界面让您一直保持较高的技术水准。当新 升级的装备付诸应用时，不仅能延长显微镜的使用寿命，还能提高工作效率。

深知蔡司显微镜系统是您重要的工具之一，保证它每时每刻正常工作是我们的责任。我们将 协助您将显微镜的功能发挥到较致。一系列由蔡司高水平*为您量身打造的服务产品可供 选择，我们在您购买系统后提供长期的技术支持，旨在让您体验到激发工作激情的美好瞬间

产品应用领域 ■ 金属 / 高分子 / 陶瓷材料 表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨损分析, 断口分析, 腐蚀研究, 原位分析。 ■ 微纳加工 结构分析,表面粗糙度分析, 高深宽比结构表征,膜厚测量。 ■ 半导体和微电子 表面缺陷定位和分析、发光缺陷观察,表面粗糙度分析,膜厚测量等。 ■ 医疗器械检测 表面粗糙度分析,金相分析,膜厚测量,微生物观察等。 ■ 生物材料和医学 金属表面细胞生长研究, 微生物金属腐蚀研究, 植入物表面细菌生长表征等。
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