半导体ZEISS电子显微镜市场

Gemini 2 型电子光学镜筒让 GeminiSEM 460 成为高束流下获取高分辨率成像和快速 分析的理想之选。另外，它还集上一代 Gemini 光学系统的所有优势于一身。例如， 确保了大视野范围内的无畸变 EBSD 分析和 高分辨率成像的物镜无漏磁设计。 因此您也能够在不影响电子光学性能的前 提下倾斜样品， 甚至还能轻松完成磁性样 品成像。

Nano-twin 物镜 Nano-twin 物镜是一种在低加速电压条件下 工作的电镜( EM ) 物镜。通过优化几何结 构和静电场及磁场分布， 获得出色的信号 探测效率， 从而可以在低电压下达到亚纳 米级分辨率。具体来说， 与标准的 Gemini 物镜相比，它在低电压下的像差降低了 3 倍。这使得样品上的磁场降低了 3 倍， 约 为 1mT ，并能够进行 1kV 以下亚纳米成像， 而*将样品浸没在电磁场中。

分辨率模式 在高分辨率电子枪模式下， 电子束色差降低， 从而实现更小的束斑。 在样品台减速技术模式下， 为样品施加减 速电压。该减速电压可进一步提高 1 kV 以 下的图像分辨率并增强背散射探测器的检 测效率。

背散射电子产生于样品表面之下，可提供 样品材质成分的衬度信息。背散射电子通 常以与入射电子束成 15 度角的圆锥状出 射， 被 Gemini 镜筒电子束推进器吸入后射 到镜筒内。由于二次电子( SE ) 与背散射 电子( BSE ) 具有不同的能量，它们会在电 子束推进器内产生不同轨迹。

强化显微镜系统 蔡司显微镜系统可采用多种方式升级：开放式的升级界面让您一直保持较高的技术水准。当新 升级的装备付诸应用时，不仅能延长显微镜的使用寿命，还能提高工作效率。

产品应用领域 ■ 金属 / 高分子 / 陶瓷材料 表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨损分析, 断口分析, 腐蚀研究, 原位分析。 ■ 微纳加工 结构分析,表面粗糙度分析, 高深宽比结构表征,膜厚测量。 ■ 半导体和微电子 表面缺陷定位和分析、发光缺陷观察,表面粗糙度分析,膜厚测量等。 ■ 医疗器械检测 表面粗糙度分析,金相分析,膜厚测量,微生物观察等。 ■ 生物材料和医学 金属表面细胞生长研究, 微生物金属腐蚀研究, 植入物表面细菌生长表征等。
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