低压蔡司电子显微镜应用

Gemini 2 型电子光学镜筒让 GeminiSEM 460 成为高束流下获取高分辨率成像和快速 分析的理想之选。另外，它还集上一代 Gemini 光学系统的所有优势于一身。例如， 确保了大视野范围内的无畸变 EBSD 分析和 高分辨率成像的物镜无漏磁设计。 因此您也能够在不影响电子光学性能的前 提下倾斜样品， 甚至还能轻松完成磁性样 品成像。

智能自动光路调节( Smart Autopilot) 与 Nano-twin 物镜相结合，新的智能自动光 路调节让您受益于以下特点： • 通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束 会聚角，在每种工作能量下都能获得出色 的分辨率。

• 通过 Nano-twin 物镜实现**低电压下的优 化高分辨率 • 通过新的大视野概览模式实现样品导航和 高分辨率成像之间的无缝过渡 • 通过新的自动聚焦功能和新的快速镜筒对 中算法实现高速优化图像质量。

分辨率模式 在高分辨率电子枪模式下， 电子束色差降低， 从而实现更小的束斑。 在样品台减速技术模式下， 为样品施加减 速电压。该减速电压可进一步提高 1 kV 以 下的图像分辨率并增强背散射探测器的检 测效率。

全套探测系统： 根据出射能量和出射角选 择性地探测样品的电子 GeminiSEM 系列的全套探测系统有大量不同 的探测器可供选配。通过组合 EsB (能量选 择背散射) 探测器、 Inlens 二次电子探测器 及 AsB (角度选择背散射) 探测器获取样品 材料、表面形貌或结晶度的信息。入射电子 与样品作用后可产生二次电子( SE ) 和背散 射电子( BSE )。从纳米级样品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次电子可用来表征样 品的表面形貌。这些二次电子可通过*特设 计的电子束推进器向后加速进入镜筒，并经 Gemini 物镜投射到环形 Inlens 二次电子探测 器里。 GeminiSEM 可根据样品的表面条件在 宽角度范围内探测二次电子。

背散射电子产生于样品表面之下，可提供 样品材质成分的衬度信息。背散射电子通 常以与入射电子束成 15 度角的圆锥状出 射， 被 Gemini 镜筒电子束推进器吸入后射 到镜筒内。由于二次电子( SE ) 与背散射 电子( BSE ) 具有不同的能量，它们会在电 子束推进器内产生不同轨迹。

大部分的背 散射电子能够穿过 Inlens SE 探测器，并被 EsB 探测器收集。此外， Inlens EsB 探测器 还可有选择地收集不同能量的背散射电子。 如果出射角大于 15 度， 则 BSE 无法进入镜 筒，但会被 AsB (角度选择背散射) 或可 抽插式 aBSD 探测器探测到。aBSD 探测器 能够提供样品的成分衬度、形貌和 3D 表面 信息。样品室背散射电子探测器( BSD )和 扫描透射电子探测器可以在低加速电压下 拥有更高效率，且能实现**速成像。

在工业质量、失效分析或研究环境中，由于扫描电子显微镜 可提供高分辨率成像和高空间分辨率元素化学信息，所以它 是金相学和失效分析应用的理想之选。

成像灵活.光学显微镜和共聚焦显微镜二合一 ■ 实现反射光和透射光的观察, 同时也可进 行形貌表征; ■ 使用宽场观察方式实现样品的定位, 便于 共聚焦显微镜进—步原位分析; ■ *切换显微镜, 减少仪器设置时间, 提 高获得结果的效率。
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