高压卡尔蔡司电子显微镜市场

充分发挥 Gemini 2 型光学系统的性能优势 GeminiSEM 460 的 特 殊 之 处 在 于 配 备 的 Gemini 2 型光学系统主要运用了双聚光镜， 在获得理想的小电子束斑同时可连续调节束 流。这使高电子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了保证。此外， 您也可以在不同的成像模式之间进行无缝切 换或更改成像参数。此操作简便快速，因为 在更改成像参数后*进行校准，而且经调 校的扫描电镜可以保持稳定地工作。

全套探测系统： 根据出射能量和出射角选 择性地探测样品的电子 GeminiSEM 系列的全套探测系统有大量不同 的探测器可供选配。通过组合 EsB (能量选 择背散射) 探测器、 Inlens 二次电子探测器 及 AsB (角度选择背散射) 探测器获取样品 材料、表面形貌或结晶度的信息。入射电子 与样品作用后可产生二次电子( SE ) 和背散 射电子( BSE )。从纳米级样品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次电子可用来表征样 品的表面形貌。这些二次电子可通过*特设 计的电子束推进器向后加速进入镜筒，并经 Gemini 物镜投射到环形 Inlens 二次电子探测 器里。 GeminiSEM 可根据样品的表面条件在 宽角度范围内探测二次电子。

大部分的背 散射电子能够穿过 Inlens SE 探测器，并被 EsB 探测器收集。此外， Inlens EsB 探测器 还可有选择地收集不同能量的背散射电子。 如果出射角大于 15 度， 则 BSE 无法进入镜 筒，但会被 AsB (角度选择背散射) 或可 抽插式 aBSD 探测器探测到。aBSD 探测器 能够提供样品的成分衬度、形貌和 3D 表面 信息。样品室背散射电子探测器( BSD )和 扫描透射电子探测器可以在低加速电压下 拥有更高效率，且能实现**速成像。

扩展功能 ■ 与蔡司电镜可实现联用, 实现样品的多尺 度多维度研究; ■ 搭载第三方配件, 如冷热台, 拉伸台, 实 现样品原位 4D 分析; ■ 搭载 Airyscan 实现高分辨荧光成像; ■ 配置 ZEN Intellesis 软件提供基于机器学习 的图像分割解决方案,可用于鉴别复杂样 品的不同相组织。

产品应用领域 ■ 金属 / 高分子 / 陶瓷材料 表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨损分析, 断口分析, 腐蚀研究, 原位分析。 ■ 微纳加工 结构分析,表面粗糙度分析, 高深宽比结构表征,膜厚测量。 ■ 半导体和微电子 表面缺陷定位和分析、发光缺陷观察,表面粗糙度分析,膜厚测量等。 ■ 医疗器械检测 表面粗糙度分析,金相分析,膜厚测量,微生物观察等。 ■ 生物材料和医学 金属表面细胞生长研究, 微生物金属腐蚀研究, 植入物表面细菌生长表征等。

成像灵活.光学显微镜和共聚焦显微镜二合一 ■ 实现反射光和透射光的观察, 同时也可进 行形貌表征; ■ 使用宽场观察方式实现样品的定位, 便于 共聚焦显微镜进—步原位分析; ■ *切换显微镜, 减少仪器设置时间, 提 高获得结果的效率。
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